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检测真空系统或其零部件的漏孔的方法有哪些?

文章来源:深圳富源达 人气:2265 发表时间:2017-12-11 15:04:14

检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。对一定的容器进行足够长时间的抽气后,容器压力不再变化,这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等,即puSe=qL+q0,式中pu为容器的极限压力,Se为容器排气口处的有效抽气速率,qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。如放气量少到可以不计,则平衡式变为puSe=qL,或pu=qL/Se。这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。如抽气速率一定(常数),要得到低的极限压力便应降低漏气量,检漏便是关键的措施。


漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。漏孔一般很微小,实际上不能测出漏孔的具体大小,所以漏孔大小都用漏率(在规定的条件下气体流过漏孔的流量)来表示。漏孔两侧存在着压力差,即可利用气体流动引起的效应来检漏。为便于检漏和易于检测出漏孔的位置,一般尽可能缩小检测的面积范围,所以先侧重于对零部件的检漏。零部件经过严格的检漏,组装后就可避免漏气。


漏气的判断  将系统抽到稳定的最低压力,然后将泵与系统隔开,测量系统的压力变化,并据此绘出压力-时间曲线(图1)。曲线a表明系统有较大的漏孔;曲线b表示系统大量放气;曲线c是a和b两种情况的综合,即同时存在放气和漏气。为使系统中存在的蒸气影响减到最小限度,测量压力应采用液氮冷阱冷却。


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