氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

1氦质谱检漏仪真空系统

氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。

在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到一定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统；否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏；所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。

2设备自身保养小知识

（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；

（2）电磁阀组的超声清洗；

（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。

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